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J-GLOBAL ID：200903033537721163

レジスト塗布装置および方法

Inventor： 菊地 健司 ,  村松 智明
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 青木 朗 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991151692
Publication number (International publication number)：1993003150
Application date： Jun. 24, 1991
Publication date： Jan. 08, 1993
Summary：

【要約】【目的】 レジスト塗布装置および方法に関し、レジスト塗布工程において、カップの交換時期、およびレジストの膜厚を適正化することを目的とする。【構成】 ウエハ1から振り飛ばされたレジスト6が付着するカップ2に重量センサ7を設け、このセンサ7に接続され、かつこのセンサ7が検出した重量増加に対応してレジスト塗布操作を制御するコントローラ8と、このコントローラ8によって制御され、カップ2の重量増加が基準値を超えたときにレジスト塗布操作を中断するレジスト塗布作動手段9と、ウエハ1の処理枚数に対応するカップ2の重量増加が基準範囲を超えて変動したときに、前記コントローラ7からの指令信号に応じてカップ2からの排気による減圧度を調節する排気圧力調節手段10とを具備するように構成する。

Claim (excerpt)：

ウエハ(1)を囲むカップ(2)と、ウエハ(1)を回転させるモータ(3)と、カップ(2)から排気するポンプ(4)と、ウエハ(1)にレジストを流下させる吐出管(5)とを有するレジスト塗布装置であって、ウエハ(1)から振り飛ばされたレジスト(6)が付着するカップ(2)に重量センサ(7)を設け、このセンサ(7)に接続され、かつこのセンサ(7)が検出した重量増加に対応してレジスト塗布操作を制御するコントローラ(8)と、このコントローラ(8)によって制御され、カップ(2)の重量増加が基準値を超えたときにレジスト塗布操作を中断するレジスト塗布作動手段(9)と、ウエハ(1)の処理枚数に対応するカップ(2)の重量増加が基準範囲を超えて変動したときに、前記コントローラ(7)からの指令信号に応じてカップ(2)からの排気による減圧度を調節する排気圧力調節手段(10)とを具備して構成されていることを特徴とするレジスト塗布装置。

IPC (4)：

H01L 21/027 ,  B05C 11/08 ,  B05D 1/40 ,  G01G 17/04