ジアミン化合物を含有する感光性樹脂組成物及びこれを塗布した感光性フィルム

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：正林真之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997363578
Publication number (International publication number)：1998207061
Application date： Dec. 16, 1997
Publication date： Aug. 07, 1998
Summary：

【要約】【課題】密着力、現像性及び剥離性に優れていて高解像度の微細パターンを形成し得る感光性樹脂組成物及びこれを塗布した感光性フィルムを提供する。【解決手段】下記の化学式で表されるジアミン化合物を含有する光開始剤、付加重合性化合物、及び熱可塑性高分子結合剤を含有する感光性樹脂組成物と、このような樹脂組成物を少なくとも一面の器材上に塗布及び乾燥して製造された感光性フィルム。【化1】エチレン、トリメチレン、及びヘキサメチレンからなる群の中から選択されたもので、 R1 は炭素数1〜4のアルキル基である。

Claim (excerpt)：

光開始剤、付加重合性化合物及び熱可塑性高分子結合剤からなる感光性樹脂組成物において、前記光開始剤として、以下の化学式で示される群から選ばれる一種または二種以上のジアミン化合物を少なくとも含有していることを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】メチレン基(-(CH2 )-)、及び炭素数2から8のポリメチレン基(-(CH2 )n -,n=2〜8)からなる群から選択されるもので、R1 は炭素数1〜4のアルキル基である。

IPC (5)：

G03F 7/029 , G03F 7/004 503 , G03F 7/027 502 , G03F 7/027 511 , H01L 21/027

FI (5)：

G03F 7/029 , G03F 7/004 503 Z , G03F 7/027 502 , G03F 7/027 511 , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平2-229802
特開昭61-236538
特開昭61-123603

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