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J-GLOBAL ID：200903033556621005
X線用反射鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992143789
Publication number (International publication number)：1993333199
Application date： Jun. 04, 1992
Publication date： Dec. 17, 1993
Summary：
【要約】【目的】 光学的性能を損なわずに多層膜反射鏡の耐熱性を向上させる。【構成】 基板3と、この基板3上に形成されたX線領域での屈折率と真空の屈折率との差が小さい物質と大きい物質とが交互に積層された多層膜1と、多層膜1に接触して設けられた熱伝導性の高い物質からなる伝熱層2と、でX線用反射鏡10を構成した。そして、多層膜1の熱を伝熱層2に伝えることで多層膜1を冷却するようにした。
Claim (excerpt)：
基板と、該基板上に形成されたX線領域での屈折率と真空の屈折率との差が小さい物質と大きい物質とが交互に積層された多層膜とからなるX線用反射鏡において、前記多層膜に熱伝導性の高い物質からなる伝熱層が接触していることを特徴とするX線用反射鏡。
Patent cited by the Patent：
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