Pat
J-GLOBAL ID：200903033556879312
微粒子モニタセンサ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
長谷川 芳樹 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994155828
Publication number (International publication number)：1995055687
Application date： Jul. 07, 1994
Publication date： Mar. 03, 1995
Summary：
【要約】【目的】 本発明は、光学表面の有効寿命が延長する微粒子モニタセンサを提供する事を目的とする。【構成】 化学的に過酷な状況下に置かれる微粒子モニタセンサ窓に接触するように、実質的に不活性なガスを流す。この窓は、直接接触する加熱要素により加熱される。更に、視野を制限するスリットが窓に置かれ、化学的に過酷な状況下への露出面積を減少し、前述のガス流速を高める。このスリットは検出器の視野を狭めるが、直線偏光を用いスリットの長手方向を偏光軸に合わせれば、検出器への信号損失は減少する。
Claim (excerpt)：
粒状物質が内部を流れるチャンバと、チャンバ内の粒状物質と相互作用し散乱光信号を生ずる入力光ビームを発生する可干渉光源と、光検出器と、上記光検出器へ達する上記散乱光信号の一部が内部を通過する集光要素(collection optical element)とを包含し、微粒子モニタセンサは、上記集光要素と熱的接続し上記光検出器と実質的に不良な熱的接続をして上記集光要素を高い温度に維持し上記集光要素への粒状物質の堆積を防止する第1の加熱手段を備える、微粒子モニタシステム。
IPC (8)：
G01N 15/00
, G01J 9/02
, G01N 15/02
, G01N 15/14
, G01N 21/15
, G01N 21/21
, G01N 21/49
, H01L 21/02
Cited by examiner (8)
Show all
Return to Previous Page
