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J-GLOBAL ID：200903033641205169
超高真空における精密荷重測定装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
井ノ口 壽
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992309359
Publication number (International publication number)：1994138010
Application date： Oct. 23, 1992
Publication date： May. 20, 1994
Summary：
【要約】【目的】 試験部を汚染することなく精密な荷重測定ができる超高真空における精密荷重測定装置を提供する。【構成】 試験チェンバ11には試験片9を保持するグリップ7,8およびロッド10,11よりなるつかみ具が収納されている。試験チェンバ11は接合部3によってロードセルを収納するロードセルチェンバ2が接続されている。接合部3には試験チェンバ11内とロードセルチェンバ2内を分離する軸方向バネ定数の弱いベローズ6(またはダイアフラム)が設けられている。ロッドの他方端を引っ張り圧縮荷重測定する際の荷重系に加わる差圧による荷重は実際の荷重に比較し非常に小さく無視できる。したがって、試験部分を汚染することなく精密な荷重測定が可能になる。
Claim (excerpt)：
超高真空または高真空下において材料に荷重を掛けて力学的挙動を測定する荷重測定装置において、試験片と、この試験片を把持する把持機構を収納する第1の真空層と、前記第1の真空層と接合部によって接続され、ロードセルが収納された第2の真空層と、前記把持機構と前記ロードセルとを前記接合部を介して結合する力学的荷重ロッドと、前記第1と第2の真空層の間の接合部に設けられた前記2つの真空層を分離するための軸方向バネ定数の弱いベローズまたはダイアフラムとからなり、最初に前記第1および2の真空層とも低真空または中真空に引き、つぎに第1の真空層のみ超高真空または高真空に引いた状態で前記試験片の荷重測定を行うことを特徴とする超高真空における精密荷重測定装置。
IPC (2)：
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