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J-GLOBAL ID：200903033670395848

シンチレータパネル及び放射線イメージセンサ

Inventor： 本目 卓也 ,  高林 敏雄
Applicant, Patent owner： 浜松ホトニクス株式会社
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000105204
Publication number (International publication number)：2000356679
Application date： Apr. 06, 2000
Publication date： Dec. 26, 2000
Summary：

【要約】【課題】 光出力を増大させたシンチレータパネル及び光出力を増大させたシンチレータパネルを用いた放射線イメージセンサを提供することである。【解決手段】 シンチレータパネル1のa-C製の基板10の一方の表面には、光反射膜としてのAg膜12が形成されている。このAg膜12の表面の全体は、Ag膜12を保護するためのSiN膜14により覆われている。このSiN膜14の表面には、入射した放射線を可視光に変換する柱状構造のシンチレータ16が形成されている。このシンチレータ16は、基板10と共にポリパラキシリレン膜18で覆われている。

Claim (excerpt)：

放射線を透過する基板と、前記基板上に設けられた反射性金属薄膜と、前記反射性金属薄膜の全体を覆う保護膜と、前記保護膜上に堆積したシンチレータと、を備えることを特徴とするシンチレータパネル。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平1-269083
  
• 特開平1-191087
  
• 放射線検出素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-224307   Applicant：浜松ホトニクス株式会社