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J-GLOBAL ID：200903033681305875
ドライバ内蔵型液晶表示パネルおよびその製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山田 稔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991316915
Publication number (International publication number)：1993150264
Application date： Nov. 29, 1991
Publication date： Jun. 18, 1993
Summary：
【要約】【目的】 画素領域の微細化に対応可能なドライバ内蔵型液晶表示パネルおよびその製造方法を実現すること。【構成】 透明基板9上の駆動回路の配線層19〜21は、3層配線構造になっており、各ピッチが狭い。ここで、第1の配線層19はTFT8のゲート5と同時形成された不純物ドープ型の多結晶シリコン層、第2の配線層20は第1のデータ線14と同時形成されたクロム層、第3の配線層21は第2のデータ線15と同時形成されたアルミニウム層からなる。ここで、第1のデータ線14と第2のデータ線15とは2重の冗長配線構造のデータ線を構成している。
Claim (excerpt)：
薄膜トランジスタのゲートに導電接続するゲート線,そのソースに下層側層間絶縁膜の接続孔を介して導電接続する第1のデータ線およびこのデータ線表面に導電接続して多重配線構造を構成する第2のデータ線を備えるマトリクスアレイと、このマトリクスアレイを駆動しており、各配線層が前記下層側層間絶縁膜および上層側層間絶縁膜によって層間分離された3層配線構造を備える駆動回路と、を同一透明基板上に有し、前記第1および第2のデータ線のうちの少なくとも1層は、前記駆動回路側の各配線層のうちのいずれかの層と同一材料から構成されていることを特徴とするドライバ内蔵型液晶表示パネル。
IPC (3)：
G02F 1/136 500
, H01L 27/12
, H01L 29/784
