暗視野照明装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：樺山亨 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995128094
Publication number (International publication number)：1996320450
Application date： May. 26, 1995
Publication date： Dec. 03, 1996
Summary：

【要約】【目的】照度不足を起こすことなく照度ムラを低減して画像の読み込み不良を防止する暗視野照明装置を提供する。【構成】この暗視野照明装置1は、撮像エリア42内のワーク8を照明する光源を円形状に配置した円形配置光源31とし、円形配置光源31からの照射光をワーク8に対して斜め方向から暗視野照明するように反射させる傾斜した円周状反射面33を有する傾斜円周状反射ミラー32を用い、同傾斜円周状反射ミラー32の反射面33を傾斜角の異なる複数面とし、反射面33での反射光を分散して撮像エリア42内の周部42b,42cにも照射している。

Claim (excerpt)：

撮像エリア内のワークを照明する光源を円形状に配置した円形配置光源とし、上記円形配置光源からの照射光を、上記ワークに対して斜め方向から暗視野照明するように反射させる傾斜した円周状反射面を有する傾斜円周状反射ミラーを用いた暗視野照明装置であって、上記傾斜円周状反射ミラーの反射面を傾斜角度の異なる複数面としたことを特徴とする暗視野照明装置。

FI (2)：

G02B 27/00 V , G02B 27/00 N

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開平4-065658
特開平2-097909
特開平2-100580

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