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J-GLOBAL ID:200903033752852163
放電装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991186960
Publication number (International publication number):1993013149
Application date: Jul. 02, 1991
Publication date: Jan. 22, 1993
Summary:
【要約】【目的】 従来より低い電圧で作動できる露出電極材料を使用して、低コスト、かつ高品質の放電装置を得る。【構成】 酸化性ガス中で放電電極間に電界を印加することにより放電を生起せしめる放電装置において、該放電電極のうち少なくとも1つが該ガスに露出する露出電極であり、該露出電極が元素周期律表のIa、IIa、IIIa族から選ばれる少なくとも1種の元素を含有する導電性酸化物を含むことを特徴とする放電装置。
Claim (excerpt):
酸化性ガス中で放電電極間に電界を印加することにより放電を生起せしめる放電装置において、該放電電極のうち少なくとも1つが該ガスに露出する露出電極であり、該露出電極が元素周期律表のIa、IIa、IIIa族から選ばれる少なくとも1種の元素を含有する導電性酸化物を含むことを特徴とする放電装置。
IPC (2):
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