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J-GLOBAL ID：200903033760277690
感光性組成物
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中村 稔 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991012671
Publication number (International publication number)：1994059458
Application date： Jan. 11, 1991
Publication date： Mar. 04, 1994
Summary：
【要約】 (修正有)【構成】 (a)一般式(I)、(II)、(III)または(IV)で表される化合物と、一般式(V)、(VI)、(VII)または(VIII)で表される化合物との環化熱付加反応生成物から由来されるシロキサン単位を少なくとも1モル%含有するポリシロキサン化合物と、(b)感光性アジト化合物、とを含有する感光性組成物。例【効果】 水性アルカリ現像が可能で、酸素プラズマ耐性に優れている。
Claim (excerpt)：
(a)一般式(I)、(II)、(III)または(IV)で表される化合物と、一般式(V)、(VI)、(VII) または(VIII)で表される化合物との環化熱付加反応生成物から由来されるシロキサン単位を少なくとも1モル%含有するポリシロキサン化合物と、(b)感光性アジド化合物、とを含有する感光性組成物。【化1】【化2】【化3】
IPC (7)：
G03F 7/075 511
, C08L 83/04 LRT
, G03F 3/10
, G03F 7/00 503
, G03F 7/008
, G03F 7/038
, H01L 21/027
