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J-GLOBAL ID：200903033763627668

三次元形状計測方法およびその装置

Inventor： 寺西 篤弘 ,  宮川 啓一 ,  今枝 明憲
Applicant, Patent owner： 日立精機株式会社
Agent (1)： 宮地 暖人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998319923
Publication number (International publication number)：2000131032
Application date： Oct. 24, 1998
Publication date： May. 12, 2000
Summary：

【要約】【課題】 被計測物の三次元形状を非接触計測で高精度にかつ高速に行うことができる技術が求められていた。【解決手段】 ラインレーザ光15を被計測物6に照射し、その反射光が変化する状態をカメラで計測して被計測物の形状を得る計測方法であって、複数のカメラは、粗計測用カメラ18a,18bと精密計測用カメラ19a,19bとからなり、レーザ発振器16とカメラを被計測物に対して1回走査して粗計測用カメラで粗計測を行い、粗計測用カメラから出力される第1の画像出力データに基づいて被計測物の第1の三次元形状計測データを生成し、精密計測用カメラを走査する際に精密計測用カメラと被計測物表面とが所定の距離を保って移動可能な移動制御データを第1の三次元形状計測データから生成し、移動制御データに基づいて、レーザ発振器と精密計測用カメラを走査して精密計測用カメラで精密計測を行い、精密計測用カメラから出力される第2の画像出力データに基づいて被計測物の第2の三次元形状計測データを生成する。

Claim (excerpt)：

照射光光源部から帯状ビームの照射光を被計測物の表面に照射し、この照射光の前記被計測物表面で反射した反射光が前記被計測物の形状に応じて変化する状態を、前記照射光の光軸に対して所定の角度を有する位置に設けられた複数のカメラで計測することにより、前記被計測物の形状を得る計測方法であって、前記複数のカメラは、所定の計測範囲を計測可能な第1のカメラと、この第1のカメラより狭い計測範囲を高精度に計測可能な第2のカメラとからなり、前記照射光光源部および前記第1のカメラを前記被計測物に対して走査方向に少なくとも1回走査するとともに前記第1のカメラで計測する第1の計測を行い、前記第1のカメラから出力される第1の画像データに基づいて、前記被計測物の概略の三次元形状を示す第1の三次元形状計測データを生成し、前記第2のカメラを前記走査方向に走査する際にこの第2のカメラと前記被計測物の表面とが所定の距離をほぼ保って移動可能な移動制御データを前記第1の三次元形状計測データから生成し、この移動制御データに基づいて、前記照射光光源部および前記第2のカメラを走査するとともに前記第2のカメラで計測する第2の計測を行い、前記第2のカメラから出力される第2の画像データに基づいて、前記被計測物の精密な三次元形状を示す第2の三次元形状計測データを生成することを特徴とする三次元形状計測方法。

IPC (3)：

G01B 11/24 ,  B23Q 17/20 ,  B23Q 17/24

FI (4)：

G01B 11/24 A ,  G01B 11/24 K ,  B23Q 17/20 A ,  B23Q 17/24 C

F-Term (21)：

2F065AA04 ,  2F065AA53 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF43 ,  2F065GG04 ,  2F065HH05 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM03 ,  2F065MM04 ,  2F065MM07 ,  2F065PP12 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ24 ,  3C029AA06 ,  3C029AA40 ,  3C029BB01 ,  3C029BB10