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J-GLOBAL ID：200903033769491318

集積回路の電圧信号測定方法および測定装置

Inventor： 品川 満 ,  永妻 忠夫
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社
Agent (1)： 三好 秀和 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992058351
Publication number (International publication number)：1993072299
Application date： Mar. 16, 1992
Publication date： Mar. 23, 1993
Summary：

【要約】【目的】 測定の再現性を向上させ、波形の比較に必要な絶対電圧や波形振幅の測定を可能とすること。【構成】 プローブと被測定回路の離間距離を定めるために両者を微動機構により接触するまで近づけ、その接触点を基準に両者を所望の距離だけ離してプローブを位置決めする手段と、高精度に位置決めするためにプローブと被測定回路とのわずかな接触を高感度に検出する手段とを備える。また、まず、被測定回路を動作させず、回路の入出力あるいは電源用端子に既知の低周波の電圧信号を入力して、その端子に接続された配線にプローブを接触した状態で、プローブにレーザ光を照射して測定した光強度変化と、同じ測定点でプローブを被測定回路から所望の距離だけ離した状態でプローブにレーザ光を照射して測定した光強度変化とを用いて、通常の使用状態の高周波で動作している被測定回路の任意の測定点で、プローブを被測定回路から所望の距離だけ離した状態でプローブにレーザ光を照射して測定した光強度変化からその測定点での絶対電圧を求める。

Claim (excerpt)：

電界によって複屈折率が変化する電気光学材料を透明な材料で固定したプローブを被測定回路に近づけ、レーザ光を該プローブに照射し、被測定回路の動作により発生する電界によって該レーザ光の偏光が変化し、偏光変化を受けた該レーザ光をポラライザによって光の強度変化に変換し、該強度変化を測定することにより被測定回路の電圧信号を測定する方法おいて(a)被測定回路の端子に接続され電圧信号が直接供給可能な配線上の測定点で既知の電圧の低周波信号を該端子に印加し、レーザ光をプローブに照射して光強度変化を測定し、(b)上記(a)で測定した光強度変化と、測定で用いたプローブと被測定回路との離間距離との関係を前記低周波信号の既知の電圧について求め、(c)上記(b)で求めた関係に基づいて、光強度変化と絶対電圧との比例関係を所望の離間距離について求め、(d)被測定回路内の所望の測定点で、高周波信号を用いて所望の離間距離をおいてレーザ光をプローブに照射して光強度変化を測定し、(e)上記(d)で測定した光強度変化と上記(c)で求めた比例関係に基づいて所望の測定点の絶対電圧を求める。ことを特徴とする集積回路の電圧信号測定方法。

IPC (2)：

G01R 31/302 ,  G01R 19/00