Pat

J-GLOBAL ID：200903033770348316

研磨パッド

Inventor： 小池 尚生 ,  今内 敏夫 ,  中村 淳
Applicant, Patent owner： 旭化成株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000371846
Publication number (International publication number)：2002176017
Application date： Dec. 06, 2000
Publication date： Jun. 21, 2002
Summary：

【要約】【課題】 CMP法で使用する研磨パッドにおいて、高い平坦度とウエハ面内での高い均一性とが両立可能であって、使用時に剥離等の生じる恐れがないものを提供する【解決手段】 共押し出し成形後や二色成形後に含浸発泡、もしくは共押し出し発泡成形や二色発泡成形によって、貼り合わせ構造ではなく、一枚の発泡シートからなる研磨パッドを構成する。

Claim (excerpt)：

ケミカルメカニカル研磨用の研磨パッドにおいて、該研磨パッドが、2種類の樹脂Aと樹脂Bとの共押し出し成形によって一枚のシートとして成形され、該シートが発泡剤含浸後に発泡シートとされる工程で製造されたことを特徴とする研磨パッド。

IPC (7)：

H01L 21/304 622 ,  B24B 37/00 ,  B29C 47/06 ,  B29C 44/00 ,  C08J 9/12 CEW ,  B29L 7:00 ,  C08L101:00

FI (7)：

H01L 21/304 622 F ,  B24B 37/00 C ,  B29C 47/06 ,  C08J 9/12 CEW ,  B29L 7:00 ,  C08L101:00 ,  B29C 67/22

F-Term (44)：

3C058AA09 ,  3C058CB01 ,  3C058CB10 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17 ,  4F074AA38 ,  4F074AC32 ,  4F074BA59 ,  4F074BB25 ,  4F074CA29 ,  4F074CC03X ,  4F074CC04Y ,  4F074CC06X ,  4F074CC10X ,  4F074CC22X ,  4F074CC48 ,  4F074CC49 ,  4F074CD06 ,  4F074DA02 ,  4F074DA03 ,  4F074DA09 ,  4F074DA14 ,  4F074DA56 ,  4F207AG01 ,  4F207AG03 ,  4F207KA01 ,  4F207KA17 ,  4F207KW50 ,  4F212AA16 ,  4F212AB02 ,  4F212AB11 ,  4F212AB16 ,  4F212AG03 ,  4F212AG20 ,  4F212AH33 ,  4F212UA09 ,  4F212UB22 ,  4F212UC05 ,  4F212UF01 ,  4F212UG02 ,  4F212UG05 ,  4F212UG07 ,  4F212UN02 ,  4F212UN06