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J-GLOBAL ID：200903033794517720
真空チャンバ内の系内微粒子測定方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
長谷川 芳樹 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992318917
Publication number (International publication number)：1994082360
Application date： Nov. 27, 1992
Publication date： Mar. 22, 1994
Summary：
【要約】【目的】 本発明は、真空装置に使用される系内微粒子測定法を改善することを目的とする。【構成】 真空チャンバ(14)内の微粒子の存在をチャンバ(14)に接続されたポンプ(16)の下流側に系内微粒子測定装置(12)を置くことによって効率的に検知する。微粒子測定装置(12)を下流側に置くことは、例えば、ポンプ(16)とチャンバ(14)の間のようなポンプ(16)の上流側に微粒子測定装置(12)をおく通常の方法と全く異なっている。本発明は測定装置を真空チャンバ(14)の下流側すぐの位置に置くことによって生じる、チャンバ(14)内で行われている工程によってエラーや表面ダメージが起こることや、微粒子検知精度が低くなってしまうという問題を取り除くことができる。
Claim (excerpt)：
真空チャンバ内の微粒子を検知する方法であって、該真空チャンバに直接ポンプを接続する工程と、該ポンプの下流側に該チャンバからポンプによって引き出される微粒子を検知するための系内微粒子測定装置を接続する工程とを備え、前記微粒子測定装置が該チャンバ内で行われる工程によって引き起こされるエラーやダメージの影響を受けにくくなることを特徴とする真空チャンバ内の微粒子検知方法。
IPC (7)：
G01N 15/14
, B01J 3/00
, C23F 4/00
, C30B 25/14
, G01N 1/24
, H01L 21/302
, H01L 21/31
