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J-GLOBAL ID：200903033797891674
鏡面自動検査装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小堀 益
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992245265
Publication number (International publication number)：1994094632
Application date： Sep. 14, 1992
Publication date： Apr. 08, 1994
Summary：
【要約】【構成】 レーザ光源(1)と、同レーザ光源からのレーザ光を点から線に変換する光学系(3)と、試料からの反射光を受光するCCDラインセンサ(2)と、試料を線状のレーザ光に対して垂直に移動させる手段(7)と、CCDラインセンサの出力を2次元画像情報として記憶するフレームメモリと、同フレームメモリに記憶された2次元画像情報の画像解析により粗度および傷を測定する手段とを備えた鏡面自動検査装置。【効果】 CCDラインセンサを用いることにより、1方向の試料の移動で2次元画像情報が得られ、これにより、傷の浅いものでも、精度高く傷および粗度を検査することができる。
Claim (excerpt)：
レーザ光源と、同レーザ光源からのレーザ光を点から線に変換する光学系と、試料からの反射光を受光するCCDラインセンサと、前記試料を線状のレーザ光に対して垂直に移動させる手段と、前記CCDラインセンサの出力を2次元画像情報として記憶するフレームメモリと、同フレームメモリに記憶された2次元画像情報の画像解析により粗度および傷を測定する手段とを備えたことを特徴とする鏡面自動検査装置。
IPC (2)：
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