Pat
J-GLOBAL ID：200903033826282852
洩れ検査装置のドリフト値取得方法・ゼロ点変動値取得方法・洩れ検査装置のドリフト補正方法・洩れ検査装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
草野 卓 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001259370
Publication number (International publication number)：2003106923
Application date： Aug. 29, 2001
Publication date： Apr. 09, 2003
Summary：
【要約】【課題】 洩れ検査で発生するドリフトの影響を正確に除去する。【解決手段】 ワークの開口部分をシール治具によって閉塞し、この状態でワークの内部に空気圧を封じ込め、この空気圧の変化を測定して空気圧の低下量が大きいとき洩れ有り、空気圧の低下量が小さいとき洩れ無しと判定する洩れ検査装置において、校正時にワークとして洩れの無いワークを用意し、この洩れの無いワークとシール治具との間に所定の温度差を与え、この状態で洩れ検査を実施し、この洩れ検査で発生する圧力変化値をドリフト値Dと定め、任意の複数の温度差毎にドリフト値Dを求め、この温度差毎に記憶器に記憶させる。検査時はワークとシール治具の温度差からドリフト値を読み出すか、又は直線近似によりドリフト値を算出し、このドリフト値を利用してドリフトを除去する。
Claim (excerpt)：
被検査体の開口部分をシール治具によって閉塞し、この閉塞状態で被検査体の内部に空気圧を封じ込め、この空気圧の変化を測定して空気圧の低下量が大きいとき洩れ有り、空気圧の低下量が小さいとき洩れ無しと判定する洩れ検査装置において、校正モードで上記被検査体に洩れの無い被検査体を用意し、この洩れの無い被検査体と上記シール治具との間に所定の温度差を与えた状態に設定し、この所定の温度差が与えられている状態で被検査体に空気圧を印加し、その空気圧の変動量をドリフト値として測定することを複数の温度差毎に実行し、複数の温度差のドリフト値をドリフト記憶器に記憶することを特徴とする洩れ検査装置のドリフト値取得方法。
IPC (2)：
FI (4)：
G01M 3/00 J
, G01M 3/26 C
, G01M 3/26 D
, G01M 3/26 M
2G067AA14
, 2G067AA27
, 2G067BB04
, 2G067CC04
, 2G067DD02
, 2G067EE10
Cited by examiner (7)
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