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J-GLOBAL ID：200903033842813540

光駆動リニアアクチュエータ

Inventor： 松崎 一成 ,  松尾 智弘 ,  末松 正典
Applicant, Patent owner： 株式会社安川電機
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992069581
Publication number (International publication number)：1993236768
Application date： Feb. 18, 1992
Publication date： Sep. 10, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【構成】 矩形板状の光電変換素子の一側面に幅bの短冊状の突起をピッチλで少なくとも6個配列した駆動部と短冊状の突起の長手方向の両端に絶縁体を介して結合した光電変換素子からなる浮上力発生部2とを有するステータ1と、ステータの駆動部に対向して矩形板状の光電変換素子の一側面にステータ1の突起と同じ幅の短冊状の突起をピッチλで設け、最後のピッチのみをnλ+λ/3(nは正の整数)とし、少なくとも2個配列した単位駆動部を絶縁体を介して3個結合し、短冊状の突起の長手方向の両端に前記ステータの浮上力発生部2と対向して光電変換素子からなる浮上力発生部7とを絶縁体を介して結合したスライダ6と、ステータ1とスライダ6の駆動部および浮上力発生部に光を供給する手段とを備えている。【効果】 電圧を供給する接続線やエネルギを供給するバッテリを必要とせず、小形化による推力減少の小さいアイクロアクチュエータを提供することができる。

Claim (excerpt)：

矩形板状の光電変換素子の一側面に幅bの短冊状の突起をピッチλで少なくとも6個配列した駆動部と前記短冊状の突起の長手方向の両端に絶縁体を介して結合した光電変換素子からなる浮上力発生部とを有するステータと、 前記ステータの駆動部に対向して矩形板状の光電変換素子の一側面に前記ステータの突起と同じ幅の短冊状の突起をピッチλで設け、最後のピッチのみをnλ+λ/3(nは正の整数)とし、少なくとも2個配列した単位駆動部を絶縁体を介して3個結合し、前記短冊状の突起の長手方向の両端に前記ステータの浮上力発生部と対向して光電変換素子からなる浮上力発生部とを絶縁体を介して結合したスライダと、前記ステータと前記スライダの駆動部および浮上力発生部に光を供給する手段とを備えたことを特徴とする光駆動リニアアクチュエータ。

IPC (4)：

H02N 11/00 ,  F03G 7/00 ,  H01L 31/04 ,  H02N 1/00