遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小栗昌平 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999317407
Publication number (International publication number)：2001194786
Application date： Nov. 08, 1999
Publication date： Jul. 19, 2001
Summary：

【要約】【課題】遠紫外光を使用するミクロフォトファブリケ-ションにおいて、現像の際の現像欠陥発生及びスカムの発生の問題を解消し、更には基板密着性に優れたレジストパターンを与え得るポジ型フォトレジスト組成物を提供すること。【解決手段】 (A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物及び(B)主鎖に脂環式構造を含み、側鎖にアダマンタン構造を有する重合体を含有することを特徴とする遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物。

Claim (excerpt)：

(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物及び(B)(i)下記一般式(Ia)及び一般式(Ib)で表される繰り返し単位群から選択される少なくとも1種の単位及び(ii)下記一般式(II-A)及び(II-B)で表される繰り返し単位群から選択される少なくとも1種の単位を有する重合体を含有することを特徴とする遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物。【化1】式(Ia)中:R1、R2は、各々独立に、水素原子、シアノ基、水酸基、-COOH、-COOR5、-CO-NH-R6、-CO-NH-SO2-R6、置換されていてもよい、アルキル基、アルコキシ基あるいは環状炭化水素基、又は下記-Y基を表す。Xは、酸素原子、硫黄原子、-NH-、-NHSO2-又は-NHSO2NH-を表す。ここで、R5は、置換基を有していてもよい、アルキル基、環状炭化水素基又は下記-Y基を表す。R6は、置換基を有していてもよい、アルキル基又は環状炭化水素基を表す。Aは、単結合又は2価の連結基を表す。-Y基;【化2】(-Y基中、R21〜R30は、各々独立に、水素原子又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。a,bは1又は2を表す。)式(Ib)中:Z2は、-O-又は-N(R3)-を表す。ここでR3は、水素原子、水酸基、アルキル基、シクロアルキル基又は-OSO2-R4を表す。R4は、アルキル基、ハロアルキル基、シクロアルキル基又は樟脳残基を表す。式(II-A)、(II-B)中:R13〜R16のうち一つは、下記一般式(R-1)あるいは(R-2)で示される-R基又はこの-R基を含有する基を表す。残りのR13〜R16は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、-COOH、-COOR5(R5は前記のものと同義である。)、酸の作用により分解する基、-C(=O)-X-A-R17、又は置換基を有していてもよいアルキル基あるいは環状炭化水素基を表す。また、残りのRl3〜R16のうち少なくとも2つが結合して環を形成してもよい。ここで、X、Aは、各々上記式(Ia)の場合と同義である。R17は、-COOH、-COOR5、-CN、水酸基、置換基を有していてもよいアルコキシ基、-CO-NH-R6、-CO-NH-SO2-R6(R5、R6は、各々前記のものと同義である)又は前記の-Y基を表す。nは0又は1を表す。-R基【化3】(式(R-1)、(R-2)中、Raは、各々独立に、炭素数1〜4のアルキル基を表し、3個のXaの少なくとも一つは水酸基を表し、残りのXaは水素原子を表す。Xbは水素原子あるいは水酸基を表す。)

IPC (5)：

G03F 7/039 601 , C08F222/00 , C08F232/00 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

FI (5)：

G03F 7/039 601 , C08F222/00 , C08F232/00 , G03F 7/004 503 A , H01L 21/30 502 R

F-Term (72)：

2H025AA04 , 2H025AA14 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE07 , 2H025BE08 , 2H025BE10 , 2H025BF02 , 2H025BF11 , 2H025BG00 , 2H025BJ01 , 2H025CB10 , 2H025CB14 , 2H025CB43 , 2H025CB45 , 2H025CB52 , 2H025CC03 , 2H025FA01 , 2H025FA17 , 4J100AJ09P , 4J100AK32P , 4J100AL36P , 4J100AL39P , 4J100AL41P , 4J100AM39P , 4J100AM43P , 4J100AM45P , 4J100AR09Q , 4J100AR11Q , 4J100BA02P , 4J100BA02Q , 4J100BA03P , 4J100BA03Q , 4J100BA04P , 4J100BA04Q , 4J100BA05P , 4J100BA06P , 4J100BA11P , 4J100BA11Q , 4J100BA12P , 4J100BA15P , 4J100BA15Q , 4J100BA16P , 4J100BA16Q , 4J100BA20P , 4J100BA20Q , 4J100BA28P , 4J100BA40P , 4J100BA40Q , 4J100BA53P , 4J100BA58P , 4J100BA59P , 4J100BA59Q , 4J100BB18P , 4J100BC04P , 4J100BC04Q , 4J100BC07P , 4J100BC07Q , 4J100BC08P , 4J100BC08Q , 4J100BC09P , 4J100BC09Q , 4J100BC12P , 4J100BC12Q , 4J100BC53P , 4J100BC53Q , 4J100CA04 , 4J100DA01 , 4J100JA38

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