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J-GLOBAL ID：200903033856029019

パタン形成材料及びそれを用いたパタン形成方法

Inventor： シュレーゲル・レオ ,  上野 巧
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992090609
Publication number (International publication number)：1993289322
Application date： Apr. 10, 1992
Publication date： Nov. 05, 1993
Summary：

【要約】【目的】溶解速度がある現像時間で大きく変化するパタン形成材料に透過率の異なるパタンを有するマスクを介して露光することにより段差のあるパタンを形成する。【構成】アルカリ可溶性フェノール樹脂,溶解抑制剤,酸前駆体と酸捕捉剤を含むパタン形成材料の露光,ベーク後の溶解速度はある現像時間で大きく変化する。この材料に透過率の異なるパタンを有するマスクを介して露光した後ベーク,現像を行うことにより段差のあるパタンを形成する。【効果】短波長光露光装置を用いた露光法により段差のある高解像度のパタンを形成することができる。

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性フェノール樹脂,溶解抑制剤,酸前駆体,酸捕捉剤からなる化学増幅系レジスト組成物の塗膜であって、溶解速度がその塗膜の途中で変わることを特徴とするパタン形成材料。

IPC (6)：

G03F 7/004 503 ,  G03F 7/023 511 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 7/30 ,  H01L 21/027

FI (2)：

H01L 21/30 301 R ,  H01L 21/30 361 L