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J-GLOBAL ID：200903033862748744
磁気記録媒体の製造方法および製造装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
滝本 智之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995089329
Publication number (International publication number)：1996287458
Application date： Apr. 14, 1995
Publication date： Nov. 01, 1996
Summary：
【要約】【目的】 高密度磁気記録が可能な強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体において、長期間の保存、特に高温多湿の環境下に長期間保存した後の耐久性に優れた極めて高い実用信頼性の磁気記録媒体の製造方法の提供を目的とする。【構成】 真空槽6内に、一面に電極15、対向する開口面に、強磁性金属薄膜2を表面に有する磁気テープ原反8を配したサブチャンバー14を設け、電極15と強磁性金属薄膜2を対向電極とするプラズマCVD法によって、強磁性金属薄膜2表面に保護膜層3である硬質炭素膜を製造する方法において、サブチャンバー14内からの排気がフィルム幅方向よりもフィルム長手方向により多く行うことよって、幅方向において均一な特性を有する硬質炭素膜を歩留まり良く形成する。
Claim (excerpt)：
真空チャンバー内に、一面に電極、対向する開口面に、強磁性金属薄膜を表面に有するフィルム原反を配したサブチャンバーを設け、前記電極と前記強磁性金属薄膜を対向電極とするプラズマCVD法によって、前記強磁性金属薄膜表面に硬質炭素膜を製造する方法において、サブチャンバー内からの排気がフィルム幅方向よりもフィルム長手方向により多く行うことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
IPC (2)：
FI (2)：
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