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J-GLOBAL ID：200903033874436519

座標変換係数の自動設定方法

Inventor： 北村 正
Applicant, Patent owner： セイコー電子工業株式会社
Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992322027
Publication number (International publication number)：1994174644
Application date： Dec. 01, 1992
Publication date： Jun. 24, 1994
Summary：

【要約】【目的】 形状観察装置に装着された試料上の微小形状を観察するために、試料上の座標系と観測位置制御座標系間の変換係数を、試料の外形の画像から、自動的に設定する。【構成】 高精度試料装着装置により、試料の装着位置精度が一定値以下になるようにする。この状態で試料外形の画像を取得し、エッジの座標値を得る。これを必要個数求め、その結果から変換係数を設定する。【効果】 本方法によれば機械制御機構を単純化でき、オペレータの操作性の煩雑さ、及びオペレータの熟練度による変換係数の精度の低下も無く、高精度の変換係数を高速度に設定可能とする。

Claim (excerpt)：

形状観察装置に、ウエハ等の単純な形状を持ち、あらかじめその形状値が知られている試料を装着した状態で、試料の外形を用いて定義された座標系とステージ座標系等の観察位置の制御座標系との変換係数を求めるために、形状観察装置により得られた2次電子画像等から、試料の外形のエッジ位置を高精度で自動認識し、その結果から上記座標系間の変換係数を自動的に設定する座標変換係数の自動設定方法。

IPC (4)：

G01N 21/84 ,  H01J 37/22 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/66

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平3-156947
  
• 特開昭63-020849
  
• 特開昭63-122217
  
• 特開平1-253247