Pat
J-GLOBAL ID:200903033906718155

露光装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993270708
Publication number (International publication number):1995122483
Application date: Oct. 28, 1993
Publication date: May. 12, 1995
Summary:
【要約】【目的】 紫外域で線幅の狭い露光用光源において、波長線幅の安定した、信頼性の高い露光装置を提供する。【構成】 波長193nmの露光用狭帯域レーザ光源を用いる露光装置において、波長基準を1.5μm帯のDFBレーザ1とし、DFBレーザの第2高調波を772nm発振器に注入同期したのち、さらに772nm発振器からの出力光の第4高調波をスレーブArFエキシマレーザ14に注入同期する構成を用いる。【効果】 波長安定性に優れ、かつ、装置が小型で信頼性が高い実用性の高い装置が得られる。
Claim (excerpt):
注入同期方式の極紫外光を用いる露光装置において、注入光源の基本波長光源となる1.5μm帯のDFBレーザと、DFBレーザの温度を一定に保つ温度調節器と、DFBレーザ光の第2高調波光を発生する第2高調波発生器と、前記第2高調波光に注入同期されて動作する波長可変固体レーザと、波長可変固体レーザ光の第2高調波、第3高調波、第4高調波をそれぞれ発生する高調波発生素子と、第4高調波光に注入同期されて動作するスレーブエキシマレーザと、スレーブエキシマレーザの励起タイミングと、DFBレーザの出力タイミングと波長可変固体レーザの励起タイミングを調整するタイミングコントローラとからなる露光用光源を備えることを特徴とする露光装置。
IPC (7):
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H01S 3/097 ,  H01S 3/10 ,  H01S 3/109 ,  H01S 3/18
FI (2):
H01L 21/30 515 B ,  H01S 3/097 Z

Return to Previous Page