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J-GLOBAL ID：200903033906718155

露光装置

Inventor： 森重 幸雄
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993270708
Publication number (International publication number)：1995122483
Application date： Oct. 28, 1993
Publication date： May. 12, 1995
Summary：

【要約】【目的】 紫外域で線幅の狭い露光用光源において、波長線幅の安定した、信頼性の高い露光装置を提供する。【構成】 波長193nmの露光用狭帯域レーザ光源を用いる露光装置において、波長基準を1.5μm帯のDFBレーザ1とし、DFBレーザの第2高調波を772nm発振器に注入同期したのち、さらに772nm発振器からの出力光の第4高調波をスレーブArFエキシマレーザ14に注入同期する構成を用いる。【効果】 波長安定性に優れ、かつ、装置が小型で信頼性が高い実用性の高い装置が得られる。

Claim (excerpt)：

注入同期方式の極紫外光を用いる露光装置において、注入光源の基本波長光源となる1.5μm帯のDFBレーザと、DFBレーザの温度を一定に保つ温度調節器と、DFBレーザ光の第2高調波光を発生する第2高調波発生器と、前記第2高調波光に注入同期されて動作する波長可変固体レーザと、波長可変固体レーザ光の第2高調波、第3高調波、第4高調波をそれぞれ発生する高調波発生素子と、第4高調波光に注入同期されて動作するスレーブエキシマレーザと、スレーブエキシマレーザの励起タイミングと、DFBレーザの出力タイミングと波長可変固体レーザの励起タイミングを調整するタイミングコントローラとからなる露光用光源を備えることを特徴とする露光装置。

IPC (7)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H01S 3/097 ,  H01S 3/10 ,  H01S 3/109 ,  H01S 3/18

FI (2)：

H01L 21/30 515 B ,  H01S 3/097 Z