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J-GLOBAL ID：200903033930881695

マイクロアクチュエータ、並びに、これを用いたマイクロアクチュエータ装置、光スイッチ及び光スイッチアレー

Inventor： 赤川 圭一 ,  石津谷 徹 ,  鈴木 純児 ,  鈴木 美彦
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 四宮 通
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001368060
Publication number (International publication number)：2003159698
Application date： Dec. 03, 2001
Publication date： Jun. 03, 2003
Summary：

【要約】【課題】 高い電圧をかけたり小型化を損なったりすることなく、可動部の可動範囲を広げ、しかも、消費電力を低減する。【解決手段】 可動板21は、フレクチュア部27a,27bを介して基板11に固定され、基板11に対して上下動し得る。基板11は固定電極を兼用する。可動板21は、基板11との間の電圧により基板11との間に静電力を生じ得る第2の電極部23a,23bと、磁界内に配置されて通電によりローレンツ力を生ずる電流経路25と、を有する。光路に進出及び退出するミラー12が、可動板21に設けられている。

Claim (excerpt)：

固定部と、該固定部に対して移動し得るように設けられた可動部と、を備え、前記固定部は第1の電極部を有し、前記可動部は、前記第1の電極部との間の電圧により前記第1の電極部との間に静電力を生じ得る第2の電極部と、磁界内に配置されて通電によりローレンツ力を生ずる電流経路と、を有する、ことを特徴とするマイクロアクチュエータ。

IPC (3)：

B81B 7/02 ,  B81B 3/00 ,  G02B 26/08

FI (3)：

B81B 7/02 ,  B81B 3/00 ,  G02B 26/08 E

F-Term (6)：

2H041AA16 ,  2H041AB13 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ05 ,  2H041AZ08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 光偏向子及びこれを用いた表示装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-208163   Applicant：日本ビクター株式会社
• 光スイッチ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-057427   Applicant：日本航空電子工業株式会社
• 磁性マイクロアクチュエータ
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願平9-542495   Applicant：ザリージェンツオブザユニヴァーシティオブカリフォルニア