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J-GLOBAL ID：200903033932832764

真空排気装置

Inventor： 氏政 仁志 ,  田代 祥一 ,  山路 哲 ,  中林 哲也
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 深見 久郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001059652
Publication number (International publication number)：2002257040
Application date： Mar. 05, 2001
Publication date： Sep. 11, 2002
Summary：

【要約】【課題】 排気配管や弁箱を使用せず大幅にメンテナンス性の改善を図り、真空排気性能を向上できる真空排気装置を提供する。【解決手段】 本発明の真空排気装置は、真空チャンバ6内の気体を真空排気ポンプ1により排気するものであって、真空排気ポンプ1の吸気口部と圧力制御を行なう可変コンダクタンスバルブ3と真空を遮断するバルブ5とが接続管を介さずに単一筐体7内に収められるよう構成されている。

Claim (excerpt)：

真空チャンバ内の気体を排気ポンプにより排気する真空排気装置において、前記排気ポンプの吸気口部と、前記真空チャンバ内の圧力制御を行なうコンダクタンスバルブと、前記排気ポンプによる前記真空チャンバ内の排気を遮断するバルブとが接続管を介さずに、かつ単一筐体内に収まるように構成されていることを特徴とする、真空排気装置。

FI (3)：

F04B 37/16 E ,  F04B 37/16 A ,  F04B 37/16 B

F-Term (8)：

3H076AA21 ,  3H076AA26 ,  3H076BB38 ,  3H076BB45 ,  3H076CC07 ,  3H076CC41 ,  3H076CC55 ,  3H076CC95