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J-GLOBAL ID：200903033955522584
角速度センサ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
広瀬 和彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994119605
Publication number (International publication number)：1995301536
Application date： May. 09, 1994
Publication date： Nov. 14, 1995
Summary：
【要約】【目的】 角速度センサの構造を、感磁性半導体素子等を用いた簡単なものとし、製造の簡素化を図る。【構成】 基板22上に支持枠23を設け、支持枠23に各支持梁25を介して音叉振動子26を浮遊状態に設けると共に、基板22の中央部には固定部29を固着して設ける。また、基板22を施蓋するカバー31上にはマグネット32を固着して設けると共に、音叉振動子26の各振動板27上には磁気抵抗素子33を着膜形成する。これにより、音叉振動子26の各振動板27が矢示A1 ,A2に振動している状態で、音叉軸Y-Yを軸中心とする角速度ωの回転が作用すると、各振動板27にはコリオリ力(矢示F1 ,F2 )による捩れ振動が生じる。このときの各振動板27の変位をマグネット32により形成された磁界中において、各磁気抵抗素子33が角速度として検知する。
Claim (excerpt)：
基板と、該基板に支持梁を介して支持され、音叉軸を軸中心とする音叉振動を行う音叉振動子と、該音叉振動子を前記基板に対して水平方向に振動させる振動発生手段と、前記音叉振動子に磁界を与えるように前記基板側に固着された磁界発生手段と、前記音叉振動子に設けられ、前記振動発生手段で音叉振動子に水平振動を与えている状態で、該音叉振動子の音叉軸を中心とする角速度が加わったときに、コリオリ力により前記音叉振動子に生じる垂直方向の捩れ振動を、前記磁界発生手段による磁界の変化として検知する感磁性検知手段とから構成してなる角速度センサ。
IPC (3)：
G01C 19/56
, G01P 9/04
, H01L 29/84
