Pat

J-GLOBAL ID：200903033962044914

放電管

Inventor： 会田 比呂史 ,  北澤 謙治 ,  三上 一彦
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993299370
Publication number (International publication number)：1995153370
Application date： Nov. 30, 1993
Publication date： Jun. 16, 1995
Summary：

【要約】【構成】内部にプラズマを発生させる、プラズマ発生装置やランプなどの放電管1の管基体2の内面のプラズマに接する表面に気相法などにより少なくとも窒素を含むアルミニウム化合物膜3を形成する。【効果】プラズマによる管基体の消耗を著しく低減することができ、放電管の寿命を伸ばすことができる。

Claim (excerpt)：

内部にプラズマを発生させる放電管の内面の少なくともプラズマに接する表面に少なくとも窒素を含むアルミニウム化合物からなる層を形成したことを特徴とする放電管。

IPC (4)：

H01J 5/02 ,  C23C 16/50 ,  H01J 37/32 ,  H01J 61/35

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-337241
  
• 特開昭64-064324
  
• 特開平1-255140