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J-GLOBAL ID：200903033992306379

物体の表面処理方法、表面処理装置および表面処理された光学部材

Inventor： 世田 博國 ,  蛭田 八代栄 ,  小田切 耀 ,  加藤 宏太郎 ,  新野 一司 ,  木村 文人
Applicant, Patent owner： 株式会社シンクロン ,  株式会社那須ニコン ,  株式会社ニコン
Agent (1)： 臼村 文男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992297975
Publication number (International publication number)：1994122778
Application date： Oct. 09, 1992
Publication date： May. 06, 1994
Summary：

【要約】【構成】 真空槽41内に光学部材等の被処理物体53を入れ、真空排気する。ヒータ13で容器15内のフルオロアルキルシラン等の低表面エネルギー性物質15を加熱し、バルブ21を開けて低表面エネルギー性物質15を真空槽41内に導き、放電電極45により放電を起こし、プラズマ雰囲気下に被処理物体53を低表面エネルギー性物質15で表面処理する。【効果】 メガネレンズ等の光学部材などを、溶剤を使わない乾式法で表面処理することにより、物体表面に耐久性に優れた高い撥水性を付与できる。

Claim (excerpt)：

低表面エネルギー性物質を気化せしめ、被処理物体が収納された減圧処理室内に導入し、プラズマ雰囲気下において被処理物体の表面に気化した低表面エネルギー性物質を接触せしめ、被処理物体の表面上に低表面エネルギー性被膜を形成することを特徴とする物体の表面処理方法。

IPC (7)：

C08J 7/04 ,  B01J 19/08 ,  C03C 17/28 ,  C03C 17/30 ,  C04B 41/83 ,  C08J 7/00 306 ,  G02B 1/10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭59-001505
  
• 特開平1-154021
  
• 特開昭63-135435