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J-GLOBAL ID：200903033997533616

ヴィアホールを有するセラミックス・グリーンシートの製造法

Inventor： 守屋 豪 ,  尾形 知彦 ,  岩永 慶二
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996135491
Publication number (International publication number)：1997314525
Application date： May. 29, 1996
Publication date： Dec. 09, 1997
Summary：

【要約】【課題】感光性セラミックス・グリーンシートに対して高アスペクト比かつ高精細のヴィアホールを形成する方法を提供する。【解決手段】無機粉末、紫外線吸光剤、感光性有機成分を含有する感光性グリーンシートに光照射後、25〜50°Cの温度の現像液を用いて現像することを特徴とするヴィアホールを有するセラミックス・グリーンシートの製造法。

Claim (excerpt)：

無機粉末、紫外線吸光剤、感光性有機成分を含有する感光性グリーンシートに光照射後、25〜50°Cの温度の現像液を用いて現像することを特徴とするヴィアホールを有するセラミックス・グリーンシートの製造法。

IPC (6)：

B28B 1/30 ,  C03C 3/091 ,  C03C 8/02 ,  C04B 35/622 ,  H05K 1/03 610 ,  H05K 3/46

FI (6)：

B28B 1/30 ,  C03C 3/091 ,  C03C 8/02 ,  H05K 1/03 610 D ,  H05K 3/46 H ,  C04B 35/00 G