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J-GLOBAL ID：200903034026454066

プラズマヒータ

Inventor： 堀江 竜郎
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 高田 幸彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991219600
Publication number (International publication number)：1993062793
Application date： Aug. 30, 1991
Publication date： Mar. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】本発明の目的は、ガスの加熱体積を大きくしてガス体の内部の温度を下げ、かつ、大量のガスをガス内の温度勾配を小にして加熱することができるプラズマヒータを提供するにある。【構成】本発明は気体を加熱するヒータにおいて、複数のプラズマヒータから成り、これらのプラズマヒータは次段以後のヒータには前段にて発生させたプラズマガスに別のガスを注入する装置を備えており、その注入ガスとプラズマガスをともに加熱すると共に、初段のヒータに注入力する高周波電力は次段に比して必ず小なることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

気体を加熱するヒータにおいて、複数のプラズマヒータから成り、これらのプラズマヒータは、次段以後のヒータには前段にて発生させたプラズマガスに別のガスを注入する装置を備えており、その注入ガスとプラズマガスをともに加熱すると共に、初段のヒータに注入力する高周波電力は次段に比して必ず小なることを特徴とするプラズマヒータ。