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J-GLOBAL ID：200903034050369266

液体材料気化供給装置

Inventor： 河野 武志 ,  石川 亨一
Applicant, Patent owner： 株式会社エステック
Agent (1)： 藤本 英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992027269
Publication number (International publication number)：1993192501
Application date： Jan. 18, 1992
Publication date： Aug. 03, 1993
Summary：

【要約】【目的】常に所定流量の気化ガスを安定して供給することができる液体材料気化供給装置を提供することにある。【構成】ヒータ4を内蔵したヒータブロック2の内部には、熱伝導性並びに耐腐食性の良好な粉体5が充填されている気化室6が形成され、その上流側には液体流量コントローラ10を介して液体材料源に接続された液体導入管8,質量流量コントローラ15を介してキャリアガス源に接続されたキャリアガス導入管14がそれぞれ挿入してあって、下流側には圧力センサ18および圧力調整器19を備えた気化ガス導出管17が接続されている。そして、圧力センサ18からの出力信号に基づいて圧力調整器19を調整することにより、気化室6内の圧力を一定に保ち、所定流量の気化ガスを供給するようにしてある。

Claim (excerpt)：

加熱により液体材料を直接気化させる気化室の一端側に、液体材料源に接続されると共に、液体流量コントローラを備えた液体導入管と、キャリアガス源に接続されると共に、質量流量コントローラを備えたキャリアガス導入管とを接続し、気化室の他端側には、気化ガス導出管を接続すると共に、当該気化ガス導出管から気化によって生じたガスをキャリアガスによって導出するようにした液体材料気化供給装置において、前記気化ガス導出管に圧力センサと圧力調整器を設け、圧力センサの検出出力に基づいて圧力調整器の調整を行うようにしたことを特徴とする液体材料気化供給装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭60-244332
  
• 特開昭64-047437