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J-GLOBAL ID：200903034062516221

走査型プローブ顕微鏡

Inventor： 村山 健
Applicant, Patent owner： 日立建機株式会社
Agent (1)： 田宮 寛祉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995298940
Publication number (International publication number)：1997119938
Application date： Oct. 24, 1995
Publication date： May. 06, 1997
Summary：

【要約】【課題】 カンチレバーに設けた圧電薄膜によりZ軸のサーボを直接行い、測定時間を大幅に向上する。【解決手段】 試料12に臨む探針15を備えたカンチレバー13と、試料と探針の相対的位置を変化させる微動機構11を備え、微動機構によって探針が試料の表面を走査し、探針・試料間の原子間力等に基づき生じるカンチレバーのたわみ量を制御することで試料表面の形状等を得る構成を有し、カンチレバーに設けられたカンチレバー加振用圧電薄膜16と、圧電薄膜にカンチレバー共振点付近の周波数の電圧を印加し微小振動を生じさせる第1電圧印加手段23と、カンチレバーの微小振動の周波数を検知する検知手段19,20,25と、周波数が一定に保たれるようにカンチレバーにたわみ変形を生じさせる第2電圧印加手段24を備える。

Claim (excerpt)：

試料に臨む探針を備えたカンチレバーと、前記試料と前記探針の相対的位置を変化させる微動機構とを備え、前記微動機構によって前記探針が前記試料の表面を走査し、走査の間、前記探針と前記試料の間の相互作用に基づき生じる前記カンチレバーのたわみ量を制御することで前記試料の表面における物理情報を得る走査型プローブ顕微鏡において、前記カンチレバーに設けられたカンチレバー加振用の圧電薄膜と、前記圧電薄膜に前記カンチレバーの共振点付近の周波数の電圧を印加して前記カンチレバーに微小振動を生じさせる第1電圧印加手段と、前記カンチレバーの微小振動の周波数を検知する検知手段と、この検知手段の出力信号に基づき前記周波数が一定に保たれるように前記カンチレバーにたわみ変形を生じさせる第2電圧印加手段とを備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28

FI (4)：

G01N 37/00 A ,  G01N 37/00 G ,  G01B 21/30 Z ,  H01J 37/28 Z