傾斜膜の製造方法および装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高梨幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002006942
Publication number (International publication number)：2003205235
Application date： Jan. 16, 2002
Publication date： Jul. 22, 2003
Summary：

【要約】【課題】膜厚方向に連続的または不連続的に組成変化を持つ膜を、低コストで且つ容易に成膜する方法を提供する。【解決手段】スプレー熱分解法を用いて、異種元素の組成変化に対し、噴霧前に複数の原料を混合する方法と、噴霧しながら混合するマルチノズルを用いる方法で、連続的な組成変化を有する組成傾斜膜や、不連続な多層膜を容易に作成した。

Claim (excerpt)：

二種類以上の異種元素からなり、膜厚方向に対して連続的、または不連続的に組成が変化している組成変化膜をスプレー熱分解法により成膜する方法。

IPC (4)：

B01J 19/00 , C23C 16/46 , G02B 1/10 , H01L 21/205

FI (4)：

B01J 19/00 K , C23C 16/46 , H01L 21/205 , G02B 1/10 Z

F-Term (25)：

2K009AA00 , 2K009BB02 , 2K009CC03 , 2K009CC06 , 2K009DD04 , 2K009EE00 , 4G075AA24 , 4G075AA30 , 4G075BA05 , 4G075BB02 , 4G075BB10 , 4G075CA02 , 4G075DA02 , 4G075EA06 , 4G075EC01 , 4G075EC03 , 4G075FA11 , 4K030FA10 , 4K030JA05 , 4K030JA06 , 4K030LA11 , 5F045AA03 , 5F045AB40 , 5F045EB02 , 5F045EF09

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

効果的にめっき付着を行うコロイド処理噴霧方法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2000-591244 Applicant：ザリージェントオブザユニバーシティオブカリフォルニア

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