Pat

J-GLOBAL ID：200903034106804807

インクジェットヘッドおよびその製造方法

Inventor： 藤井 正寛 ,  牧垣 奉宏 ,  竹腰 太郎
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997124572
Publication number (International publication number)：1998315461
Application date： May. 14, 1997
Publication date： Dec. 02, 1998
Summary：

【要約】【課題】 シリコン単結晶基板をエッチングすることにより、インク吐出特性に優れた円筒状ノズル部分およびテーパ状ノズル部分を備えたインクノズルを形成することのできるインクジェットヘッドの製造方法を提案すること。【解決手段】 インクジェットヘッド1のノズルプレート2を製造するためのシリコン単結晶基板200の表面200aに対して、異方性ウエットエッチングを施してインクノズルのテーパ状ノズル部分21bを形成する。また、シリコン単結晶基板200の反対側の表面200bに形成した凹部表面から異方性ドライエッチングを施してインクノズルの円筒状ノズル部分21aを形成する。インクノズルの一定断面の円筒状ノズル部分21aを精度良く形成でき、当該円筒状ノズル部分21aに滑らかに連続したテーパ状ノズル部分21bを形成できる。従って、インク吐出特性に優れたインクノズルを形成でき、各インクノズル間のインク吐出特性のばらつきも抑制できる。

Claim (excerpt)：

シリコン単結晶基板をエッチングすることにより、一定断面の円筒状ノズル部分と、当該円筒状ノズル孔部分から後側に向けてノズル断面積が漸増しているテーパ状ノズル部分とを備えたインクノズルが形成されているインクジェットヘッドの製造方法において、前記シリコン単結晶基板の一方の表面に異方性ドライエッチングを施して前記円筒状ノズル部分を形成し、前記シリコン単結晶基板の他方の面に異方性ウエットエッチングを施して前記テーパ状ノズル部分を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

IPC (3)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H