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J-GLOBAL ID：200903034113454250

感光性樹脂組成物

Inventor： 指田 暢幸 ,  番場 敏夫 ,  山本 光弘
Applicant, Patent owner： 住友ベークライト株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992341773
Publication number (International publication number)：1994186744
Application date： Dec. 22, 1992
Publication date： Jul. 08, 1994
Summary：

【要約】【構成】 特定構造のポリアミド酸エステルと乳酸エステルとからなる感光性樹脂組成物。【効果】 本樹脂組成物は、シリコンウエハ等に塗布した際に、はじき及びピンホール現象が認められず、シリコンウエハ面内の膜厚バラツキを極めて小さくすることができる。

Claim (excerpt)：

式(1)で示されるポリアミド酸エステルと式(2)で示される乳酸エステルとからなる感光性樹脂組成物。【化1】CH3-CH(OH)-COO-R7 (2)ここでR7,:CH3、C2H5、C3H7又はC4H9

IPC (5)：

G03F 7/038 504 ,  C08K 5/04 ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/027 514 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• 特開平3-050547
  
• 特開昭63-259558
  
• 特開昭63-178228
  
• 特開平1-283554
  
• 特開平4-095962
  
• 特開平4-252227