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J-GLOBAL ID：200903034118465102

多孔質窒化ガラス膜及びその製造方法

Inventor： 朴 辰珠
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 山本 正緒
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998072393
Publication number (International publication number)：1999267480
Application date： Mar. 20, 1998
Publication date： Oct. 05, 1999
Summary：

【要約】【課題】 N2とCO2などの分子サイズの違う主要なガス種の分離が可能で、N2の透過率が大きく、N2選択透過性に優れた多孔質窒化ガラス膜、及びその製造方法を提供する。【解決手段】 多孔質セラミックス基材表面上に形成されたSiO2-B2O3-RxO(Rは、周期律表の1A、2A、3A族元素の少なくとも1種)系多孔質ガラス膜であり、SiO2成分に対して窒素原子を0.0001〜20モル%の割合で含有する。基材上にガラス粉末の堆積層を形成し、窒素又はアンモニアガスの圧力10Pa〜9.3×105Pa中で加熱溶触し、室温まで急冷してガラス膜とした後、酸溶液でリーチング処理して多孔質窒化ガラス膜とする。

Claim (excerpt)：

多孔質セラミックス基材の表面上に形成された窒化ガラス膜であって、該窒化ガラス膜を構成するSiO2-B2O3-RxO(Rは、周期律表の1A、2A、3A族元素の少なくとも1種)ガラスが、SiO2成分に対して窒素原子を0.0001〜20モル%の割合で含有することを特徴とする多孔質窒化ガラス膜。

IPC (4)：

B01D 71/04 ,  B01D 53/22 ,  B01D 71/02 500 ,  C04B 41/85

FI (4)：

B01D 71/04 ,  B01D 53/22 ,  B01D 71/02 500 ,  C04B 41/85 C