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J-GLOBAL ID：200903034132396474

光電位置測定装置

Inventor： ペーター・シユペツクバツヒヤー ,  ミヒヤエル・アールゴイヤー ,  ゲオルク・フラツシヤー ,  アントン・ザイラー ,  ヴアルブルガ・ケルン
Applicant, Patent owner： ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
Agent (1)： 江崎 光史 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997346746
Publication number (International publication number)：1998318793
Application date： Dec. 16, 1997
Publication date： Dec. 04, 1998
Summary：

【要約】【課題】 走査信号が高い変調度を有し、簡単に作製できる高分解能光電位置測定装置を提供する。【解決手段】 少なくとも一つの回折格子2で光ビーム回折により互いに移動する二つの物体の相対位置を測定するため照明光源11と検出装置20を備えた位置測定装置にあって、回折格子2が測定方向Xに向けて交互に配置されたウェブ22と溝23を持つ反射性のレリーフ格子であり、回折格子2の目盛周期TPが入射するビーム束13,14の波長λにほぼ等しいかあるいは短く、ウェブ22の断面が少なくも近似的に台形状に形成され、ウェブ22のエッジ角度γが 70°± 10 °である。

Claim (excerpt)：

少なくとも一つの回折格子(2)で光ビーム回折により互いに移動する二つの物体の相対位置を測定するため照明光源(11)と検出装置(20)を備えた位置測定装置において、回折格子(2)が測定方向(X)に向けて交互に配置されたウェブ(22)と溝(23)を持つ反射性のレリーフ格子であり、回折格子(2)の目盛周期(TP)が入射するビーム束(13,14)の波長(λ)にほぼ等しいかあるいは短く、ウェブ(22)の断面が少なくも近似的に台形状に形成され、ウェブ(22)のエッジ角度(γ)が 70 °± 10 °である、ことを特徴とする位置測定装置。

IPC (3)：

G01D 5/38 ,  G01B 11/00 ,  G02B 5/18

FI (3)：

G01D 5/38 A ,  G01B 11/00 G ,  G02B 5/18