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J-GLOBAL ID：200903034150649371

位置ずれ検出装置及びそれを用いた位置決め装置

Inventor：
井 上 淳 也

About 井 上 淳 也


Applicant, Patent owner：
株式会社モリテックス

About 株式会社モリテックス


Agent (1)： 澤野 勝文 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999079403
Publication number (International publication number)：2000276233
Application date： Mar. 24, 1999
Publication date： Oct. 06, 2000
Summary：
【要約】【課題】撮像光学系をワークの間に位置させることなく、その対向面に形成されたアライメントマークを撮像して、ワークの位置ずれを正確に検出できるようにする。【解決手段】Z軸方向に所定のクリアランスで配置された二つのワーク(2A, 2B)を、二台の赤外線撮像装置(5A,5B)で、XY面に直交する共通光軸(10)を介して一方向から同軸的に撮像するようにした。赤外線撮像装置(5A,5B)の合焦領域(11A, 11B)は、各ワーク(2A, 2B) の対向面(3A,3B)に形成された夫々のアライメントマーク(4A,4B)を択一的に撮像できる位置に設定した。
Claim (excerpt)：
Z軸方向に所定のクリアランスをもって配置される複数のワーク(2A, 2B)のXY面内の位置ずれを、その対向面(3A, 3B)に形成されたアライメントマーク(4A, 4B)のXY面上の位置に基づいて検出する位置ずれ検出装置であって、前記アライメントマーク(4A, 4B)の数に応じた複数台の赤外線撮像装置(5A, 5B)が、XY面に直交する共通光軸(10)を介して各ワーク(2A, 2B)を一方向から同軸的に撮像するように配され、前記赤外線撮像装置(5A, 5B)の合焦領域(11A, 11B)が、夫々のアライメントマーク(4A, 4B)を択一的に撮像できる位置に設定されたことを特徴とする位置ずれ検出装置。
IPC (2)：
G05D 3/12 ,  H05K 13/04
FI (2)：
G05D 3/12 L ,  H05K 13/04 M
F-Term (16)：
5E313AA03 ,  5E313AA11 ,  5E313CC04 ,  5E313EE03 ,  5E313FF32 ,  5H303AA06 ,  5H303BB03 ,  5H303BB08 ,  5H303BB12 ,  5H303CC01 ,  5H303DD01 ,  5H303FF12 ,  5H303FF13 ,  5H303FF20 ,  5H303GG14 ,  5H303HH01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
  • 半導体接合装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-222178   Applicant：日本電気株式会社
  • 特開昭63-148650
  • 位置確認装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-340572   Applicant：ソニー株式会社
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Cited by examiner (4)
  • 半導体接合装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-222178   Applicant：日本電気株式会社
  • 特開昭63-148650
  • 位置確認装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-340572   Applicant：ソニー株式会社
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