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J-GLOBAL ID：200903034160379976

透過電子顕微鏡による試料観察方法

Inventor：
長沖 功

About 長沖 功


Applicant, Patent owner：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

About 株式会社日立ハイテクノロジーズ


Agent (1)： 平木 祐輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002309710
Publication number (International publication number)：2004146192
Application date： Oct. 24, 2002
Publication date： May. 20, 2004
Summary：
【課題】非点量を自動的に検出し、検出した非点量に基づいて非点を自動的に補正する。【解決手段】光軸に対して所定角度傾斜した電子線を複数の異なる方位角方向から試料に照射して複数の試料透過電子像を撮像し(S12)、試料透過電子像間の移動量を求め(S13)、次に、試料透過電子像の移動軌跡によって形成される楕円をそれと同じ面積の真円とするために必要な非点補正機構の制御量を求め、求めた制御量によって非点補正機構を制御する(S14)。【選択図】 図9
Claim (excerpt)：
非点補正機構を備える透過電子顕微鏡による試料観察方法において、 光軸に対して所定角度傾斜した電子線を複数の異なる方位角方向から試料に照射し、複数の試料透過電子像を撮像するステップと、 試料透過電子像間の移動量を求め、前記複数の試料透過電子像の移動軌跡によって形成される楕円を求めるステップと、 前記複数の試料透過電子像の移動軌跡を前記楕円と同じ面積の真円とするために必要な前記非点補正機構の制御量を求めるステップと、 求めた制御量によって前記非点補正機構を制御するステップとを含むことを特徴とする試料観察方法。
IPC (4)：
H01J37/153 ,  H01J37/141 ,  H01J37/21 ,  H01J37/22
FI (4)：
H01J37/153 A ,  H01J37/141 Z ,  H01J37/21 A ,  H01J37/22 502H
F-Term (4)：
5C033DD03 ,  5C033HH01 ,  5C033HH03 ,  5C033LL01
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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