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J-GLOBAL ID：200903034171032480
角速度センサ
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993040184
Publication number (International publication number)：1994249667
Application date： Mar. 01, 1993
Publication date： Sep. 09, 1994
Summary：
【要約】【目的】 小型で高感度な角速度センサを提供する【構成】 駆動素子201に交流電圧が印加されると、駆動素子は駆動用梁部102を振動させる。この振動は中継重量部103および検出用梁部104,105を介して重量部107を振動させる。重量部が振動しているとき角速度センサが方向109に回転されると、重量部はコリオリ力を発生させる。コリオリ力は検出用梁部を変形させる。この変形量が角速度検出素子203により角速度として検出される。振動に寄与する重量部を中継重量部で折り返し、各々を検出用梁部で結合する形状とすることにより、検出用梁部の長さを大きくして検出感度を高め、センサ寸法を小さくすることを可能にした。
Claim (excerpt)：
矩形プレート状の駆動用梁部と、駆動用梁部の第1の側部に連結されており、かつ角速度測定対象に連結されるべき支持部と、支持部が連結されている駆動用梁部の第1の側部と対向する駆動用梁部の第2の側部に連結されており、第2の側部に沿って両方向に駆動用梁部外に延び出している中継重量部と、中継重量部の両終端からそれぞれ駆動用梁部の第3,第4の側部に沿って、かつ第3,第4の側部との間に空隙を保ちつつ、支持部方向に延びる2本の検出用梁部と、支持部との間に空隙を保ちつつ、支持部に沿って延び、検出用梁部の両終端間を連結する重量部と、駆動用梁部の少なくとも一面に固定され、駆動用梁部を振動させる駆動素子と、検出用梁部の少なくとも一方に配設され、検出用梁部の変形を検出する角速度検出素子とを有する角速度センサ。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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