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J-GLOBAL ID：200903034197858394

ウエーハ分析器具

Inventor： 近藤 英之 ,  柳 繁成 ,  高橋 敬司
Applicant, Patent owner： 三菱マテリアル株式会社 ,  三菱マテリアルシリコン株式会社
Agent (1)： 市村 健夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992303302
Publication number (International publication number)：1994132376
Application date： Oct. 16, 1992
Publication date： May. 13, 1994
Summary：

【要約】【目的】 雰囲気からの汚染を避けてウエーハの不純物分析試料を採取するために使用するウエーハ分析器具を提供する。【構成】 ウエーハを固定部材に固定し、固定部材に着脱自在な蓋付きの開口を有するフードでウエーハを覆って密閉可能なウエーハ分析器具を構成した。

Claim (excerpt)：

ウエーハを保持する保持部材と、該保持部材に着脱自在であり、該ウエーハを覆って密閉可能な、蓋付きの開口を有するフードとからなることを特徴とするウエーハ分析器具。

IPC (2)：

H01L 21/66 ,  G01N 1/02