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J-GLOBAL ID：200903034217990936

露光装置及び露光状態の検査方法

Inventor： 岡田 朋之 ,  高橋 和彦 ,  宮内 徹 ,  上村 貢 ,  前田 龍治 ,  小林 賢一
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 宇井 正一 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993332887
Publication number (International publication number)：1995192989
Application date： Dec. 27, 1993
Publication date： Jul. 28, 1995
Summary：

【要約】【目的】 短時間で、且つ経済的に且つ効率的に被露光体及び露光装置全体のシステムを検査する事の出来る露光装置及び露光状態の検査方法がを提供する。【構成】 露光設計データ保持手段4 、露光処理データ保持手段5 、検査データ保持手段5'、被露光体1 に露光処理を行う露光処理手段200 、露光処理手段200から出る第1の露光ビームB1に関する第1の露光データD1を記憶する第1の記憶手段31、被露光体1を露光処理した後の第2の露光ビームB2に関する第2の露光データD2を記憶する第2の記憶手段32、露光処理操作に同期して、検査データ保持手段5'から出る検査データD3を記憶する第3の記憶手段33、第1から第3の記憶手段31〜33のうちの少なくとも2つの記憶手段のデータD1〜D3を比較処理する演算手段34、演算手段34の出力から露光処理手段200 の露光状態を判定する露光状態判定手段35、及び上記各手段を制御する制御手段6 で構成される露光装置。

Claim (excerpt)：

露光設計データ保持手段、該露光設計データ保持手段に格納されている露光設計データから作成された露光処理データを保持する露光処理データ保持手段、該露光設計データ保持手段に格納されている露光設計データから作成された検査データを保持する検査データ保持手段、該露光処理データ保持手段に格納されている露光処理データにより制御され、被露光体に対して所定の露光処理を実行する露光処理手段、該露光処理手段から出力される第1の露光ビームに関する第1の露光データを記憶する第1の記憶手段、該被露光体を露光処理した後の第2の露光ビームに関する第2の露光データを記憶する第2の記憶手段、該露光処理手段の露光処理操作に同期して、該検査データ保持手段から出力される検査データを記憶する第3の記憶手段、該第1から第3の記憶手段のうちの少なくとも2つの記憶手段に記憶されている、それぞれの露光データを互いに比較処理する演算手段、該演算手段の演算結果から該露光処理手段に於ける露光状態を判定する露光状態判定手段、及び上記各手段を制御する制御手段とから構成されていることを特徴とする露光装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2)：

H01L 21/30 516 D ,  H01L 21/30 527