窒化アルミニウム焼結体、その製造方法および半導体製造用装置

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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：杉村暁秀 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995218158
Publication number (International publication number)：1997048668
Application date： Aug. 03, 1995
Publication date： Feb. 18, 1997
Summary：

【要約】【課題】窒化アルミニウム焼結体に焼結助剤や黒色化剤のような金属化合物、特に重金属化合物を添加することなく、窒化アルミニウム焼結体の明度を小さくし、その色を黒色に近づけること。【解決手段】窒化アルミニウム焼結体の主結晶相のX線回折チャートにおいて、主結晶相である窒化アルミニウムのピークの他に、X線回折角度2θ=44°〜45°にカーボンのピークが検出されることを特徴とする。好ましくは、窒化アルミニウム焼結体の結晶相が、AlNの主結晶相と、ALONからなる副結晶相と、カーボン相とを備えており、(AlN)x (Al2 OC)1-x 相を実質的に含有せず、JIS Z 8721に規定する明度がN4以下であり、窒化アルミニウム焼結体に含有されている炭素原子の割合が500ppm〜5000ppmである。

Claim (excerpt)：

窒化アルミニウムのX線回折チャートにおいて、主結晶相である窒化アルミニウムピークの他に、X線回折角度2θ=44°〜45°にカーボンのピークが検出されることを特徴とする、窒化アルミニウム焼結体。

IPC (6)：

C04B 35/581 , H01L 21/205 , H01L 21/3065 , H01L 21/324 , H05B 3/02 , H05B 3/20 356

FI (7)：

C04B 35/58 104 H , H01L 21/205 , H01L 21/324 H , H01L 21/324 Z , H05B 3/02 B , H05B 3/20 356 , H01L 21/302 G

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

特開昭60-186479
窒化アルミニウム粉末およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-162091 Applicant：川崎製鉄株式会社
セラミツクスヒーター
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-262300 Applicant：日本碍子株式会社

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