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J-GLOBAL ID：200903034249532450

金属板表面疵検査方法及びその装置

Inventor： 山田 善郎 ,  宮崎 孝雄 ,  的場 有治
Applicant, Patent owner： 日本鋼管株式会社
Agent (1)： 瀧野 秀雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995133850
Publication number (International publication number)：1996327562
Application date： May. 31, 1995
Publication date： Dec. 13, 1996
Summary：

【要約】【目的】 高速で走行する金属板の表面疵を光学的手段によって検出する金属板表面疵検出方法及びその装置を提供することを目的とする。【構成】 レーザ光源1から放射されるレーザビームをレーザ平行走査光学機器2で平行ビームを走査してハーフミラー3に入射させ、その反射ビームをガラス板4に設けたサバール板アレイ5に入射して互いに直交した振動方向を有する互いに光軸のずれた平行な直交偏光ビームを測定対象6に入射して、その反射光をハーフミラー3、偏光板7及びフレネルレンズ8を通して光電変換素子9に入射させて測定対象6の凹凸を検出する金属板表面疵検出装置である。

Claim (excerpt)：

金属板表面疵検査方法に於いて、光源からの光を偏光素子を用いて二本の互いに直交した振動方向を有する互いに光軸のずれた平行な直線偏光ビームとし、測定対象に前記直線偏光ビームを走査して、前記測定対象からの干渉光を含む戻り光によって前記測定対象の表面凹凸を検出することを特徴とする金属板表面疵検査方法。