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J-GLOBAL ID：200903034267567333

基板検査装置

Inventor： 秋山 孝善
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 梅田 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993152204
Publication number (International publication number)：1995019825
Application date： Jun. 23, 1993
Publication date： Jan. 20, 1995
Summary：

【要約】【構成】 クリーム半田11aを印刷したプリント基板11に、位相変化する格子縞の光パターンを実質的に投影角度を変えて投影し、CCDカメラ14から出力される複数の画像信号により、クリーム半田11aの印刷位置,面積,厚さ,量等を測定し検出するものである。【効果】 クリーム半田11aの被測定物に照射角度を変えて投影するものであるから、より精密に被測定物を測定し検査することができる。

Claim (excerpt)：

プリント基板を載置するXYテーブルと、光源と該プリント基板に斜め上方から複数のスリット状に位相変化する格子縞パターンの投影光を照射するプロジェクターからなる投影ユニットと、プリント基板に対してほぼ垂直上方に配置された撮像ユニットと、上記プロジェクターからの光を分光させる分光器と、該分光器で分光された光をプリント基板上の被測定物に反射させる複数個の反射ミラーと、該分光器と反射ミラー間にそれぞれ分光された光を遮断する複数個のブランカーとを有し、上記撮像ユニットから出力される複数の画像信号により基板の検査を行う基板検査装置。

IPC (5)：

G01B 11/24 ,  G01N 21/88 ,  G06T 1/00 ,  G06T 7/00 ,  G12B 5/00

FI (4)：

G06F 15/62 405 A ,  G06F 15/64 D ,  G06F 15/64 320 C ,  G06F 15/70 455 B