Pat

J-GLOBAL ID：200903034307957903

表面反射防止コーティングフィルム

Inventor： ウイリアム・アール・ブランズボウルド ,  ジヨージ・ジエイ・ヘフエロン ,  クリストフアー・エフ・ライアンズ ,  ウエイン・エム・モロー ,  ロバート・エル・ウツド
Applicant, Patent owner： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
Agent (1)： 頓宮 孝一 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992128453
Publication number (International publication number)：1993188598
Application date： May. 21, 1992
Publication date： Jul. 30, 1993
Summary：

【要約】【目的】 水性現像可能なフォトレジストに使用するための反射防止コーティングの提供。【構成】 その下にあるフォトレジストの屈折率の平方根にほぼ等しい屈折率をもつフッ素を含有する、表面反射防止コーティングにより、水性現像可能なフォトレジスト組成物の高忠実度なパターン転写が達成され、このコーティングはフォトレジストの現像に際してとり除かれる。

Claim (excerpt)：

水性-処理可能なフィルム形成性のフッ素-含有組成物からなり、この組成物は水性現像可能なフォトレジスト組成物の屈折率の平方根とほぼ等しい屈折率をもち、そしてレジストパターンの現像に際して除去可能なものである、水性現像可能なフォトレジスト組成物に使用するための反射防止コーティング。

IPC (2)：

G03F 7/11 503 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開昭62-062520
  
• 特開昭64-009618
  
• 特開昭62-042160
  
• 特表平4-505371
  
• 特開平2-246108