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J-GLOBAL ID：200903034310376172

薄板検査装置

Inventor： 藤原 達男 ,  広瀬 宏樹 ,  中村 寿夫 ,  塩田 朋彦
Applicant, Patent owner： 石川島播磨重工業株式会社
Agent (1)： 絹谷 信雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000385118
Publication number (International publication number)：2002181714
Application date： Dec. 19, 2000
Publication date： Jun. 26, 2002
Summary：

【要約】【課題】 薄板を傷付けることなく搬送でき、角度ずれを容易に修正でき、サイズ変化に容易に対応できる薄板検査装置を提供する。【解決手段】 定盤2上の検査ステーション3に、液晶基板などの薄板4を搬送させて検査するための薄板検査装置1において、薄板4の前端部5を把持して定盤2上を移送するための薄板移送手段6と、検査ステーション3前後の定盤2上に設けられ、移送される薄板4を空気で浮上させるためのエアスライダ7と、検査ステーション3に設けられ、薄板4に対してエア吹き付けと吸引とを同時に行って薄板4の浮上高さを調整するエアベアリング8とを備えたものである。

Claim (excerpt)：

定盤上の検査ステーションに、液晶基板などの薄板を搬送させて検査するための薄板検査装置において、複数サイズの薄板前端部を把持して定盤上を移送するための薄板移送手段と、検査ステーション前後の定盤上に設けられ、移送される薄板を空気で浮上させるためのエアスライダと、検査ステーションに設けられ、薄板に対してエア吹き付けと吸引とを同時に行って薄板の浮上高さを調整するエアベアリングとを備えたことを特徴とする薄板検査装置。

IPC (3)：

G01N 21/84 ,  B65G 51/03 ,  G01N 21/958

FI (3)：

G01N 21/84 C ,  B65G 51/03 Z ,  G01N 21/958

F-Term (5)：

2G051AA73 ,  2G051AC12 ,  2G051CA04 ,  2G051CB02 ,  2G051DA07