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J-GLOBAL ID：200903034312018478
走査型プローブ顕微鏡
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
竹本 松司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997110678
Publication number (International publication number)：1998300758
Application date： Apr. 28, 1997
Publication date： Nov. 13, 1998
Summary：
【要約】【課題】 走査型プローブ顕微鏡において、広範囲にわたって高精度の形状測定を行う。【解決手段】 プローブを複数個配列することによって測定範囲を拡大し、各プローブで測定される変位信号について、プローブの配列に基づく位置ずれと各プローブ自体が持つ特性による誤差を補正し、さらに、各プローブによる測定データをつなぎ合わせて広範囲の像を得るものであり、同一ステージ4に複数のプローブ2を2次元的に配列したプローブアレイ3と、プローブアレイを3次元方向に移動可能とする移動手段5,7と、試料の表面形状の測定データを各プローブ毎に測定する変位検出手段10,11と、各プローブの位置誤差およびプローブ特性に基づいて、測定データを各プローブ毎に補正する測定データ補正手段12,14,15と、各プローブ毎の隣接する測定データの相互相関を求めて測定データのつなぎ合わせ合成像を生成する測定データ合成手段20を備える。
Claim (excerpt)：
同一ステージ上に複数のプローブを2次元的に配列したプローブアレイと、前記プローブアレイを3次元方向に移動可能とする移動手段と、プローブの変位信号と移動手段による移動量から、試料の表面形状の測定データを各プローブ毎に測定する変位検出手段と、各プローブの位置誤差およびプローブ特性に基づいて、前記測定データを各プローブ毎に補正する測定データ補正手段と、各プローブ毎の隣接する測定データの相互相関を求めることによって測定データをつなぎ合わせ、合成像を生成する測定データ合成手段を備えたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 37/00 A
, G01B 21/30 Z
