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J-GLOBAL ID：200903034326827336

マーク検出装置及び露光装置

Inventor： 高橋 顕
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 志賀 正武 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998055456
Publication number (International publication number)：1999260679
Application date： Mar. 06, 1998
Publication date： Sep. 24, 1999
Summary：

【要約】【課題】 オートフォーカス光学系にて、確実にアライメントマークに関する焦点合わせを実行できるようなマーク検出装置及び露光装置を提供する。【解決手段】 投影露光装置1には、オートフォーカス光学系Qaが付設されたマーク検出装置Qが備えられている。これにはマーク検出用に照明光源Q1a及び撮像素子Qcが、オートフォーカス用に瞬時発光可能なAF光源Qaa及びAF用撮像素子Qacが、それぞれ備えられている。なお、AF光源Qaaの光量は、照明光源Q1aのそれよりも大きく設定されている。これら両光源Q1a、Qaaから発せられた光は共にアライメントマークA上に照射される。すなわち、アライメントマークAと対物レンズQ1gの焦点面との合焦作業は、アライメントマークAそのものに基づいて実施されることになる。また、この合焦作業は、照明光源Q1aを点灯したままで行うことができる。

Claim (excerpt)：

対物光学系を介して物体上のマークを検出するマーク検出装置において、前記マークの検出に先立って前記対物光学系の焦点面に前記マークを配置するために、前記対物光学系の光軸方向に関する前記対物光学系の焦点面と前記マークとの相対位置に関する情報を検出する位置検出系を備え、前記位置検出系は瞬時発光可能な光源を有することを特徴とするマーク検出装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00

FI (4)：

H01L 21/30 525 E ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 A ,  H01L 21/30 526 A