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J-GLOBAL ID:200903034357575882

エンコーダの校正方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 光石 俊郎 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993108116
Publication number (International publication number):1994317431
Application date: May. 10, 1993
Publication date: Nov. 15, 1994
Summary:
【要約】【目的】 評価対象のリニヤスケールやロータリエンコーダを、これらより一段階高精度な基準リニヤスケールやロータリエンコーダを用いることなく、校正すること。【構成】 リニヤスケール1の信号を再生して取付台5とリニヤスケール1との相対移動量を測定する3個のリニヤスケール信号再生用ヘッド3A,3B,3Cを、取付台5上に該取付台5とリニヤスケール1と相対移動方向に互いに間隔La ,Lb をおいて配置し、前記取付台5とリニヤスケール1とを順次相対移動させて、各移動距離での3個のヘッド3A,3B,3Cの測定値を求め、所定の移動範囲にわたる測定値から演算によって前記リニヤスケール1の累積ピッチ誤差を求める。
Claim (excerpt):
リニヤスケールと該リニヤスケール信号再生用ヘッドの取付台とを前記リニヤスケールの目盛方向にほぼ平行に相対的移動可能に設け、前記リニヤスケールの信号を再生して前記取付台とリニヤスケールとの相対移動量を測定する3個のリニヤスケール信号再生用ヘッドを、取付台上に該取付台とリニヤスケールの相対移動方向に互いに間隔をおいて配置し、前記取付台とリニヤスケールとを順次相対移動させて、各移動距離での3個のヘッドの測定値を求め、所定の移動範囲にわたる測定値から演算によって前記リニヤスケールの累積ピッチ誤差を求めることを特徴とするエンコーダの校正方法。
IPC (2):
G01D 5/245 ,  G01D 5/245 102

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