PZT系結晶膜素子およびその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000156623
Publication number (International publication number)：2001338835
Application date： May. 26, 2000
Publication date： Dec. 07, 2001
Summary：

【要約】【課題】耐湿性、絶縁抵抗および誘電損失に優れ、コンデンサ、アクチュエータ等の電子部品に使用できるPZT系結晶膜素子を提供する。【解決手段】基板上に水熱合成法により形成したPb(ZrxTi1-x)O3(ただし、0≦x≦1)からなるPZT系結晶膜において、該PZT系結晶膜の親水性部分を重合または架橋させた接着性樹脂で被覆後、該PZT系結晶膜および/または接着性樹脂上に薄膜電極を形成し、さらに該薄膜電極上を重合または架橋させた接着性樹脂で被覆してなることを特徴とするPZT系結晶膜素子、およびその製造方法に関する。

Claim (excerpt)：

基板上に水熱合成法により形成したPb(ZrxTi1-x)O3(ただし、0≦x≦1)からなるPZT系結晶膜において、該PZT系結晶膜の親水性部分を重合または架橋させた接着性樹脂で被覆後、該PZT系結晶膜および/または接着性樹脂上に薄膜電極を形成し、さらに該薄膜電極上を重合または架橋させた接着性樹脂で被覆してなることを特徴とするPZT系結晶膜素子。

IPC (7)：

H01G 4/33 , C01G 25/02 , H01G 4/12 394 , H01G 4/12 400 , H01L 27/04 , H01L 21/822 , H01L 41/24

FI (6)：

C01G 25/02 , H01G 4/12 394 , H01G 4/12 400 , H01G 4/06 102 , H01L 27/04 C , H01L 41/22 A

F-Term (32)：

4G048AA03 , 4G048AB02 , 4G048AC01 , 4G048AD02 , 4G048AE06 , 4G048AE07 , 5E001AB06 , 5E001AC09 , 5E001AE03 , 5E001AG01 , 5E001AH01 , 5E001AH03 , 5E001AJ02 , 5E001AJ04 , 5E082AB01 , 5E082BC19 , 5E082BC35 , 5E082EE02 , 5E082EE05 , 5E082EE11 , 5E082EE23 , 5E082EE37 , 5E082FF05 , 5E082FG03 , 5E082FG26 , 5E082FG60 , 5E082HH47 , 5E082HH48 , 5E082PP03 , 5F038AC05 , 5F038AC15 , 5F038AC18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

複合酸化物薄膜及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-277825 Applicant：東海ゴム工業株式会社
薄型コンデンサとその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-013403 Applicant：北陸電気工業株式会社
特開昭62-115849

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